Giám sát năng lượng bộ chỉnh mặt nạ - Mask Aligner

Bộ chuyển đổi biến áp và biến dòng DNM-831I-100V-50A của ICP DAS, M-7017RMS-G và Bộ quản lý năng lượng tập trung PMC-5231 được sử dụng để đo mức tiêu thụ điện năng và thu thập dữ liệu từ Mask Aligner. Dữ liệu được thu thập đóng vai trò là tài liệu tham khảo cho việc bảo trì dự đoán máy móc.

Giới thiệu

Bộ chỉnh mặt nạ - Mask Aligner rất cần thiết để sản xuất chất bán dẫn như mạch tích hợp. Nó đóng vai trò chuyển mẫu lên chất nền và kích thước mẫu đã đạt đến kích thước nano. Quá trình này được gọi là quang khắc.

Quá trình quang khắc đã phát triển nhanh chóng trong những năm gần đây và nhu cầu về năng lực và tốc độ sản xuất cao cũng tăng lên. Ngoài ra, chi phí và tính kịp thời của việc bảo trì thiết bị cũ đã trở thành yếu tố chính ảnh hưởng đến khả năng cạnh tranh của doanh nghiệp. Do đó, nghiên cứu điển hình này minh họa cách giải pháp quản lý năng lượng của ICP DAS hỗ trợ khách hàng trong việc thu thập và phân tích dữ liệu năng lượng bất kể các loại máy sử dụng.

Giải pháp đo công suất của ICP DAS

Trong trường hợp này, nhân viên quản lý có thể áp dụng các phép đo nguồn DC hoặc AC để thu được dữ liệu điện áp và dòng điện, tùy thuộc vào loại dòng điện mà bộ căn chỉnh mặt nạ sử dụng. DNM-831I-100V-50A làm giảm điện áp đầu vào và biến đổi đầu vào dòng điện. Sau đó, dòng điện được truyền qua Module 8 kênh đầu vào tương tự AI True RMS M-7017RMS-G để thu được các giá trị RMS DC thực. Sau đó, dữ liệu được gửi đến PMC-5231 thông qua giao thức Modbus RTU và sau đó đến trung tâm điều khiển thông qua Giao thức Modbus TCP. Việc phân tích dữ liệu về mức tiêu thụ điện năng cho phép nhân viên đặt giới hạn trên và dưới và dùng làm tài liệu tham khảo cho việc bảo trì dự đoán máy móc. Sơ đồ cấu trúc hệ thống như sau.

Sơ đồ cấu trúc hệ thống đo nguồn điện xoay chiều

Sơ đồ cấu trúc hệ thống đo nguồn DC

DNM-831I-100V-50A của ICP DAS có bộ giảm điện áp 1 kênh và biến dòng 1 kênh. Phạm vi đầu vào tương tự của nó là ±100 V và ±50 A, đồng thời có thể giảm điện áp xuống ±10 V. Việc sử dụng DNM-831I-100V-50A cùng với các mô-đun I/O từ xa của ICP DAS như I-7017Z-G và M-7017RMS cho phép đo công suất của thiết bị chạy với dòng điện cao. Trong trường hợp này, khách hàng sử dụng DNM-831I-100V-50A để giảm điện áp đầu ra của bộ căn chỉnh mặt nạ để đo công suất và thu thập dữ liệu.

M-7017RMS-G, bộ chuyển đổi RMS sang DC tích hợp với độ chính xác cao, tính toán Giá trị True RMS của bất kỳ dạng sóng phức tạp nào mà không cần phần mềm tính toán bổ sung. Phạm vi đầu vào RMS của nó là +150 mVrms đến +10 Vrms và phạm vi đầu vào của mỗi kênh có thể được cấu hình riêng lẻ. Trong trường hợp này, M-7017RMS-G chuyển đổi tín hiệu AC/DC được gửi từ DNM-831I-100V-50A thành giá trị RMS.

PMC-5231 tích hợp thu thập dữ liệu nguồn, phục hồi dữ liệu, giao diện người dùng dựa trên web, điều khiển logic IF-THEN-ELSE, quản lý nhu cầu điện và thông báo cảnh báo từ xa. PMC-5231 lưu và tính toán giá trị RMS được chuyển đổi bởi M-7017RMS-G, sau đó truyền dữ liệu nguồn đến máy tính của trung tâm điều khiển thông qua Modbus TCP.

Bộ quản lý năng lượng tập trung IIoT (PMC) có máy chủ web tích hợp cho phép người dùng kiểm tra nhiều thông tin khác nhau về mức tiêu thụ điện năng và trực tiếp thiết lập các thông số hệ thống. Quản trị viên có thể xây dựng hệ thống giám sát và điều khiển nguồn điện thông qua cài đặt trên máy chủ web và không cần lập trình bổ sung. Ngoài ra, dòng PMC còn thực hiện chức năng điều khiển logic IF-THEN-ELSE và thông báo cảnh báo từ xa. Trong trường hợp này, khi PMC-5231 xác định được sự bất thường trong giá trị dòng điện từ bộ điều chỉnh mặt nạ, thông báo sẽ ngay lập tức được gửi đến quản trị viên, bất kể nó có được kết nối với phần mềm giám sát được cài đặt trong máy tính của trung tâm điều khiển hay không.

IoTstar là phần mềm quản lý đám mây IIoT được phát triển bởi ICP DAS. Nó cho phép giám sát, điều khiển và quản lý từ xa các bộ điều khiển IIoT của chúng tôi như dòng WISE/PMC/PMD, cũng như các mô-đun I/O, thiết bị và thiết bị được kết nối với bộ điều khiển. Người dùng có thể cài đặt IoTstar của ICP DAS trên PC Windows bằng đám mây riêng. Ngoài ra, nó cũng có thể được cài đặt trên nền tảng đám mây công cộng như Microsoft Azure, IBM Bluemix, Google Cloud hoặc Amazon AWS.

Một trong những tính năng cốt lõi của IoTstar là Dịch vụ bảng điều khiển. Điều này cho phép người dùng tạo bảng điều khiển tùy chỉnh và có thể chia sẻ để trực quan hóa dữ liệu nguồn dựa trên nhu cầu của họ. Một tính năng khác là Dịch vụ Báo cáo cung cấp các báo cáo thống kê và thông tin có thể được tìm kiếm và xem xét. Ngoài ra, các báo cáo có thể được xuất dưới dạng tệp PDF và Excel. Với bảng điều khiển giao diện người dùng đồ họa của IoTstar, người dùng có thể lấy thông tin về mức tiêu thụ điện năng cao nhất của máy trong khoảng thời gian nào. Do đó, nhân viên có thể dễ dàng tìm ra các lý do cơ bản khiến máy ngừng hoạt động và sử dụng năng lượng cao, nâng cao tính khả dụng của máy.

Kết luận

Khách hàng đạt được các mục tiêu về bảo trì dự đoán và xử lý sự cố thông qua giải pháp đo dòng điện được thiết kế riêng của ICP DAS. Giải pháp này hỗ trợ nhân viên tại chỗ trong việc giám sát và bảo trì thiết bị theo thời gian thực. Do đó, điều này giúp giảm bớt gánh nặng kiểm tra thủ công, giảm chi phí lao động và cải thiện hiệu suất thiết bị tổng thể (OEE).